Tấm kim loại bán dẫnđề cập đến vỏ bọc kim loại, khung, giá đỡ và các thành phần cấu trúc được chế tạo chính xác được sử dụng bên trong thiết bị sản xuất chất bán dẫn - bao gồm hệ thống lắng đọng wafer, buồng khắc, công cụ phẳng hóa cơ hóa (CMP), máy kiểm tra và các đơn vị xử lý vật liệu tự động (AMHS). Các bộ phận này phải đáp ứng dung sai chặt chẽ hơn nhiều so với kim loại tấm công nghiệp thông thường, vì sai số kích thước ảnh hưởng trực tiếp đến năng suất wafer và độ lặp lại của quy trình.
Theo tiêu chuẩn SEMI E10 (Hướng dẫn xác định và đo lường độ tin cậy, tính khả dụng và khả năng bảo trì của thiết bị), thiết bị xử lý bán dẫn dự kiến sẽ duy trì thời gian hoạt động trên 95%. Các thành phần kim loại tấm kết cấu - tấm ống góp khí, giá đỡ cánh tay robot và lớp lót buồng - rất quan trọng để đạt được mục tiêu này. Bất kỳ sai lệch hình học hoặc ô nhiễm bề mặt nào trong các bộ phận này đều có thể ảnh hưởng đến hóa học quy trình, kích hoạt các sự kiện hạt hoặc gây ra thời gian ngừng hoạt động ngoài kế hoạch.
Tại Chiết Giang Jiafeng, chúng tôi đã cung cấptấm kim loại bán dẫncác thành phần cho OEM điện tử công suất, nhà sản xuất thiết bị xử lý wafer và nhà tích hợp hệ thống kiểm tra bán dẫn. Chuỗi quy trình nội bộ hoàn chỉnh của chúng tôi - từcắt laser và hàn robotthông quaGia công CNC 5 trụcvà mạ điện - loại bỏ việc bàn giao của nhà thầu phụ gây ra sự thay đổi kích thước và nguy cơ ô nhiễm.
Bảng dưới đây đối chiếu các yêu cầu về dung sai và độ sạch điển hình của kim loại tấm công nghiệp nói chung so với kim loại tấm cấp bán dẫn, dựa trên các tiêu chuẩn SEMI và ASTM đã công bố.
| Thông số | Tấm kim loại công nghiệp nói chung | Tấm kim loại bán dẫn | Tiêu chuẩn tham khảo |
|---|---|---|---|
| Dung sai kích thước tuyến tính | ±0.5 - ±1.0 mm | ±0.05 - ±0.1 mm | ASME Y14.5-2018; BÁN M1 |
| Độ phẳng (bảng điều khiển 300 mm) | ≤ 1.0 mm | ≤ 0,2 mm | BÁN S2; Thông số kỹ thuật OEM thiết bị |
| Độ nhám bề mặt Ra | 3.2 - 6.3 μm | 0,4 – 1,6 μm (vùng đánh bóng điện ≤ 0,2 μm) | BÁN F19; Tiêu chuẩn B912 |
| Cấp độ sạch sẽ (sau chế tạo) | Tẩy dầu mỡ tiêu chuẩn | Gói sạch Class 100 - 1000 (ISO 5–6) | BÁN E78; Tiêu chuẩn ISO 14644-1 |
| Giới hạn kích thước hạt còn lại | Không được chỉ định | ≤ 0,1 μm (bề mặt quan trọng) | BÁN E78; Lộ trình ITRS |
| Truy xuất nguồn gốc vật liệu | Giấy chứng nhận nhà máy tùy chọn | Yêu cầu chứng nhận nhà máy đầy đủ + truy xuất nguồn gốc lô | BÁN C10; Tiêu chuẩn ISO 9001:2015 |
| Chống ăn mòn (phun muối) | 48 - 96 giờ (ASTM B117) | ≥ 500 giờ; Đã kiểm tra khả năng tương thích hóa học của quy trình | BÁN F47; Tiêu chuẩn B117 |
| Thoát khí (buồng chân không) | Không áp dụng | ≤ 1 × 10⁻⁸ Torr · L/s·cm² (theo tiêu chuẩn ASTM E595) | Tiêu chuẩn E595; BÁN E10 |
Dữ liệu được tổng hợp từ SEMI E10, SEMI S2, SEMI F19, ASTM B117, ASTM E595 và ASME Y14.5-2018. Các giá trị cụ thể phụ thuộc vào thiết bị, yêu cầu thiết kế OEM và hóa học quy trình.
Lựa chọn vật liệu trongtấm kim loại bán dẫnđược điều chỉnh bởi khả năng tương thích hóa học với khí xử lý (HF, Cl₂, NF₃, H₂SO₄), yêu cầu thoát khí chân không và tính trung tính từ trường gần các công cụ chùm tia điện tử. Các vật liệu sau đây thường được chỉ định bởi các OEM thiết bị bán dẫn và tất cả đều được dự trữ hoặc có nguồn gốc sẵn sàng bởi Jiafeng:
| Vật liệu | Lớp / Hợp kim | Thuộc tính chính | Ứng dụng bán dẫn điển hình | Kết thúc được sử dụng |
|---|---|---|---|---|
| Thép không gỉ 316L | UNS S31603 | Carbon thấp; khả năng chống ăn mòn tuyệt vời đối với Cl⁻; Không từ tính (μR ≈ 1.02) | Tấm ống góp khí, lớp lót buồng, khung AMHS | Đánh bóng điện + thụ động (ASTM A967) |
| Nhôm 6061-T6 | Tiêu chuẩn B209 | Tỷ lệ sức mạnh trên trọng lượng tốt; có thể gia công; anốt tốt | Cấu trúc cánh tay robot, tàu vận chuyển wafer, khung thiết bị | Anốt cứng Loại III (25–80 μm) |
| Nhôm 5052-H32 | Tiêu chuẩn B209 | Khả năng chống ăn mòn cao hơn 6061; dễ hình thành; có thể hàn | Tấm bao vây, nắp, khay quản lý cáp | Anoded Loại II hoặc sơn tĩnh điện |
| Hastelloy C-276 | UNS N10276 | Khả năng chống lại môi trường HCl, H₂SO₄, HF vượt trội | Các thành phần trạm khắc ướt, lót bồn tắm hóa chất | Đánh bóng điện hoặc như gia công |
| Đồng điện phân C110 | Tiêu chuẩn B152 | Độ dẫn điện cao (≥ 100% IACS); Truyền nhiệt tuyệt vời | Thanh cái, dây đai nối đất, che chắn RF, bộ tản nhiệt | Mạ điện thiếc hoặc bạc |
| Thép cán nguội SPCC / DC01 | JIS G3141 / EN 10130 | Giá thấp; có thể định hình; phải được phủ để chống ăn mòn | Tủ bên ngoài, khung phụ kết cấu không tiếp xúc với khí xử lý | Mạ kẽm + sơn tĩnh điện (phun muối 96–128 giờ) |
Đặc tính vật liệu dựa trên ASTM B209, ASTM B152, ASTM A240 / A240M và bảng dữ liệu của nhà sản xuất. Tất cả các vật liệu được xử lý tại Jiafeng đều có nguồn gốc từ các chứng chỉ nhà máy có thể truy xuất nguồn gốc nhiệt / số lô theo ISO 9001: 2015.
Mọi quy trình kim loại tấm của Jiafeng - từ cắt laser sợi quang 12 kW đến mạ điện hoàn toàn khép kín - đều có ứng dụng trực tiếp trongtấm kim loại bán dẫnsản xuất. Bảng dưới đây ánh xạ khả năng nội bộ của chúng tôi với các cụm phụ thiết bị bán dẫn cụ thể mà họ sản xuất.
| Quy trình Jiafeng | Thiết bị / Thông số kỹ thuật | Dung sai có thể đạt được | Lắp ráp phụ bán dẫn được sản xuất |
|---|---|---|---|
| Cắt laser sợi quang | 3.000 - 12.000 W | ±0,05 mm; Ra ≤ 1,6 μm trên cạnh cắt | Bảng truy cập buồng, đường cắt ống xả, tấm che chắn EMC |
| Uốn CNC (Máy uốn tự động Salvagnini) | 35 T - 250 T; Góc ±0,3 ° | Góc uốn cong ±0,3 °; Chiều cao mặt bích ±0,1 mm | Khung kho FOUP / FOSB, tấm bao vây thiết bị, hồ sơ máng cáp |
| Đục lỗ CNC NCT | Bàn 1500 × 3000 mm; 45 T - 260 T | Vị trí lỗ ±0,1 mm | Tấm đục lỗ thông gió, giá đỡ quản lý cáp |
| Hàn laser robot | Robot hàn laser 3.000 W | Chiều rộng hạt hàn ≤ 1 mm; Độ méo ≤ 0,3 mm / m | Cụm hàn hộp khí, khung hàn buồng chân không, vỏ kín không gỉ |
| Mạ điện bề mặt (Kẽm) | Dây chuyền mạ kẽm tự động; Xe tăng 3000 × 750 × 1500 mm | Phun muối 96 – 128 giờ (ASTM B117); Lớp phủ 5–25 μm | Khung phụ kết cấu, đường ray nối đất, cụm dây buộc |
| Sơn tĩnh điện | Hai dòng; Tiền xử lý chuyển đổi gốm | 60–120 μm; Thoát khí được thử nghiệm cho mỗi ứng dụng | Tủ thiết bị bên ngoài, bảng giao diện người vận hành, vỏ bọc tiện ích |
| Kiểm tra CMM | E = (1,9 + 3L / 1000) μm CMM có độ chính xác cao | Độ không đảm bảo đo ±1,9 μm | Kiểm tra đầu tiên và kiểm tra đầu ra đối với tất cả các kích thước kim loại tấm bán dẫn quan trọng |
Giá trị dung sai thể hiện hiệu suất điển hình có thể đạt được trong các điều kiện sản xuất tiêu chuẩn. Dung sai chặt chẽ hơn có sẵn theo yêu cầu. Thông số kỹ thuật CMM trên mỗi bảng dữ liệu thiết bị Renishaw.
Các nhóm mua sắm tại các OEM thiết bị bán dẫn thường xuyên tham khảo các tiêu chuẩn sau khi đủ điều kiệntấm kim loại bán dẫnnhà cung cấp. Hệ thống quản lý chất lượng của Jiafeng và các biện pháp kiểm soát quy trình được lập thành văn bản phù hợp với từng loại:
| Chuẩn | Cơ quan phát hành | Phạm vi liên quan đến tấm kim loại | Căn chỉnh Jiafeng |
|---|---|---|---|
| BÁN S2 | SEMI Quốc tế | Hướng dẫn về môi trường, sức khỏe và an toàn cho thiết bị sản xuất chất bán dẫn | Thiết kế bảng kết cấu, lựa chọn vật liệu, hoàn thiện bề mặt |
| BÁN F47 | SEMI Quốc tế | Đặc điểm kỹ thuật cho khả năng miễn nhiễm võng điện áp - tác động đến vỏ bọc và thiết kế tấm kim loại nối đất | Đường ray nối đất và chế tạo tấm kim loại tủ |
| BÁN E10 | SEMI Quốc tế | Độ tin cậy, tính khả dụng và khả năng bảo trì của thiết bị - thúc đẩy các yêu cầu thiết kế cho dịch vụ trong các bộ phận kết cấu | Hình dạng bảng điều khiển, bản lề và thiết kế dây buộc |
| BÁN E78 | SEMI Quốc tế | Kiểm soát phóng tĩnh điện (ESD) cho sản xuất chất bán dẫn | Tùy chọn hoàn thiện bề mặt dẫn điện / tiêu tán; Thiết kế nối đất |
| Tiêu chuẩn B117 | ASTM Quốc tế | Thực hành tiêu chuẩn để vận hành thiết bị phun muối (sương mù) - thử nghiệm ăn mòn đối với bề mặt hoàn thiện | Dây chuyền mạ điện của chúng tôi đáp ứng phun muối 96–128 giờ theo phương pháp này |
| Tiêu chuẩn A967 | ASTM Quốc tế | Xử lý thụ động hóa học cho các bộ phận bằng thép không gỉ | Thụ động hóa sau chế tạo các thành phần bán dẫn không gỉ 316L |
| Tiêu chuẩn ISO 9001:2015 | Tiêu chuẩn ISO | Hệ thống quản lý chất lượng - truy xuất nguồn gốc nguyên liệu, kiểm soát quy trình, quản lý không phù hợp | Jiafeng được chứng nhận ISO 9001:2015; Truy xuất nguồn gốc đầy đủ trong suốt quá trình sản xuất |
Mô tả tiêu chuẩn được diễn giải từ các ấn phẩm của SEMI International và ASTM International. Văn bản tiêu chuẩn đầy đủ có sẵn từ các cơ quan phát hành tương ứng.
Chế tạo kim loại tấm là nền tảng của một thành phần bán dẫn, nhưng bộ phận hoàn thiện thường yêu cầu các tính năng chính xác bổ sung, xử lý bề mặt và tích hợp với hệ thống điện và điều khiển. Cơ sở tích hợp theo chiều dọc của Jiafeng xử lý cả ba lĩnh vực dưới một mái nhà:
Để yêu cầu báo giá chotấm kim loại bán dẫncác thành phần, gửi bản vẽ 2D / 3D của bạn cho nhóm kỹ thuật của chúng tôi. Chúng tôi sẽ trả lại phản hồi của DFM và báo giá chi tiết trong vòng 48 giờ.
Liên hệ với Jiafeng - Yêu cầu báo giá kim loại tấm bán dẫn →
